sholoh6
Высший разум
(1095799)
4 года назад
Оценены пределы применимости формул, учитывающих краевые эффекты в 2D-приближении. Ключевые слова: МЭМС, электрическая емкость, краевые эффекты, метод площадок, метод граничных элементов, аппроксимационные формулы. DOI: 10.17212/1727-2769-2016-1-48-61. Введение. ..раллельного конденсатора, используемого в работе для моделирования и измере-. ния зависимости емкости системы от величины межэлектродного зазора. В качестве объекта исследования использова-. лась модель МЭМС, представляющая собой два плоских параллельных проводящих электрода, в. расчетах принималось, что электроды имеют. длину a и ширину b, а межэлектродный зазор. равен d (рис. 1). Межэлектродный зазор был за....