Рекорд порядка 1 ТГц.
https://www.itweek.ru/idea/news-company/detail.php?ID=105708 Оптико-электронные транзисторы могут достигнуть 1 ПГц
https://www.hardwareluxx.ru/index.php/news/hardware/prozessoren/52868-million-gigagerts-fizicheskij-predel-skorosti-pereklyucheniya-tranzistorov.html Но сколько-то сложные устройства на таких транзисторов не соберешь, так как бОльшие задержки будут уже в проводах длиной в десятые доли микрона.