Первый короткометражный фильм-пародия – "Маленькое ограбление поезда" (1905) Первый полнометражный – "Три эпохи" (1923) Пик популярности пришёлся на 70-90-е гг. Ну а король пародий – Лесли Нильсен
А мне вот думается, что в массовый (коммерческий) кинематограф кинопародии пришли не без помощи Мэла Брукса. С его "Сверкающие седла" - https://www.kinopoisk.ru/film/8456/ Хотя наверняка и раньше были тоже...