Я так однозначно не понял, берлиоза всеже убил дьявол, чтоб доказать ему или наказать.

чтобы доказать, он никого не наказывал

Воланд просто доказал ему,что человек не управляет своей судьбой.

И то и другое

Вопрос интересный, я раньше однозначно считал, что Воланд вроде бы не убивал Берлиоза, но.
Если бы Берлиоз и Бездомный не увлеклись беседой с иностранным профессором, то вряд ли Михаил Александрович пошёл бы к турникету, вряд ли бы поскользнулся. А если бы это и случилось даже, он вряд ли попал бы под трамвай, просто не встретился бы с железной машиной. Да и в тот момент, когда Берлиоз поскользнулся, он был шокирован встречей, поэтому не успел среагировать должным образом. Так что, возможно, дьявол приложил некоторое усилие к тому, чтобы товарищ Берлиоз остался без головы.
К данному случаю применимо расхожее выражение "Пути Господни неисповедимы".

Скорее Аннушка

это,знаете ли, не столько противостояние Воланд-Берлиоз, сколько "отсылка" к загадочной русской душе.
Русская литература ( а Булгаков в полной мере здесь именно продолжает и идеи, и стили русской классики) довольно много имеет примеров, где герои либо сами себе предсказывают фатальный конец, который вроде бы ничто не предвещало, либо оказываются заложниками проклятий, пророчеств и т.д. Сие очень характерно для русских и по сей день, фатализм - часть нашего культурного кода.

В этом своём ярком начале романа Булгаков как раз объединяет романтическую традицию Зап.Европы (Фауст- Гёте-Гуно-Берлиоз) и русскую народную веру в предопределение своей Судьбы.
Действуя на русской почве, западный Воланд достаточно громко обращается к потустороннему миру неясных, темных определений из астрального прогноза, чтобы "включить программу" на фатальный исход событий у образованного русского интеллигента Берлиоза (ну, может, не совсем русского, но это некритично), безусловно знающего о существовании гороскопов судьбы. Это слабое место русских - вера в сторонние силы, которые уже все предрешили. А задача Воланда - опровергнуть весь напускной советский атеизм и псевдо-презрение к предрассудкам Берлиоза, и показать, что вот оно: на словах-то ты хват, а на деле? сможешь ли устоять перед РОКОМ?
Фактически Берлиоз ошарашен. Ему отрежут голову! Какой ужас! Куда ему бежать, чтобы спастись?Но если бежать - это значит, признать слова Воланда за пророчество. А это противоречит его же собственным сентенциям.
Тогда бежать никак нельзя. Он же русский! Значит, не может идти против судьбы, но мужественно готов её встретить, и возможно даже победить её в честном поединке. (Как сделал это герой новеллы Фаталист, писателя-тёзки Берлиоза.)

Воланд не убивает Берлиоза, он даёт ему возможность остаться верным своим идеалам, пусть и такой дорогой ценой.
Итак, Берлиоз-то, оказывается, у нас герой!)) Благодаря Воланду и его "установке", жизнь средненького, выдуманного человечка оборвалась в соответствии с канонами смертей благородных героев русской классической литературной традиции. Несмотря на всю комичность ситуации (Аннушка,масло, трамвай, комсомолка), а может быть даже и благодаря ей.
Комичность и несуразность фатальной смерти - также атрибуты русской жизни и её отражению в русской классической литературной традиции.

(Я уж не говорю о звуковом сходстве имен главного фаталиста русской литературы Вулича и Воланда. Это ещё один камешек в стену доказательств моей теории)