Фотолитография (плюсы и минусы)

я не специалист, потому могу громко ошибацо.

однако предполагаю, что всё контактное обеспечивает более точное копирование при масштабе 1:1 и производицо на более простом и компактном оборудовании.
в частности в старину - контактная фотопечать. или изготовление плат с фоторезистом контактным способом.