Материалы и методы нанотехнологий 3

С какой точностью надо контролировать время роста
эпитаксиальной пленки кремния в процессе молекулярно-лучевой
эпитаксии при скорости роста 1 мкм/час, если ошибка в толщине пленки не
должна превышать одного атомного слоя? (Ответ:±1,95с)