Что такое оборудование для производства электроники транзисторов чипов микрочипов микросхем литиграфия литографы?

Основные категории оборудования:
1. Оборудование для производства кремниевых пластин (ваферов)
Печи для выращивания монокристаллов (Czochralski, Float-Zone) – создают высокочистые кремниевые слитки.

Резательные и шлифовальные станки – нарезают слитки на тонкие пластины (ваферы) и полируют их.

2. Фотолитография (Lithography)
Сканеры и степперы (DUV, EUV литография) – наносят схемы на кремниевые пластины с помощью ультрафиолетового или экстремального ультрафиолетового излучения (ASML – ведущий производитель).

Фотошаблоны (маски, реticles) – содержат шаблоны микросхем.

3. Оборудование для нанесения и травления слоев
Установки химического осаждения из паровой фазы (CVD, PVD, ALD) – наносят тонкие слои диэлектриков и металлов.

Ионные имплантеры – вводят примеси для создания p-n переходов.

Установки плазменного травления (RIE, DRIE) – удаляют избыточные материалы с высокой точностью.

4. Металлизация и межсоединения
Машины для напыления металлов (спаттеры) – наносят алюминий, медь, вольфрам.

Электрохимическое осаждение (ECD) – формируют медные соединения.

CMP (химико-механическая полировка) – выравнивают поверхность пластин.

5. Тестирование и контроль качества
Измерительные микроскопы (SEM, AFM) – проверяют топологию чипов.

Тестеры электрических параметров (probe stations, wafer testers) – проверяют работоспособность чипов на пластине.

6. Сборка и упаковка (Packaging)
Дискретизаторы (dicing machines) – разрезают пластины на отдельные чипы.

Установки для корпусирования (wire bonding, flip-chip, 3D-интеграция) – соединяют чипы с корпусами.

Ключевые производители оборудования:
ASML (Нидерланды) – литография (EUV).

Applied Materials, Lam Research, KLA (США) – осаждение, травление, контроль.

Tokyo Electron (Япония) – обработка пластин.

ASM International – ALD-оборудование.

Это высокотехнологичная отрасль, требующая огромных инвестиций в R&D и чистые помещения (класс чистоты ISO 1-3). Современные процессоры (например, 3 нм от TSMC) производятся с использованием сотен таких машин.

нейросеть DeepSeek